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德國osiris顯影機:DEVELOPER,設(shè)計用于:顯影、清潔和干燥。晶圓顯影機在半導(dǎo)體制造和微納加工領(lǐng)域起著至關(guān)重要的作用,幫助實現(xiàn)微電子元件的精密制造和微米級結(jié)構(gòu)的加工。
UNIXX S 30 D 顯影機是應(yīng)用于顯影工藝的設(shè)備,適用的基板尺寸為2英寸到12英寸的 圓片和最大到9英寸x9英寸的方片。新設(shè)計的三片式可拆卸工藝腔體可實現(xiàn)良好的工藝 均勻性和重復(fù)性,設(shè)備也可用于清洗和旋干工藝。 UNIXX S 30 D的落地式柜體經(jīng)專門設(shè)計,方便操作和維修。它是一款手動顯影機,適 用于實驗室開展科學(xué)研究和技術(shù)開發(fā)。設(shè)備具有多選項(例如可編程流體輸送臂)并且 可以升級成自動化
UNIXX S 20 D 顯影機是應(yīng)用于顯影工藝的設(shè)備,適用的基板尺寸最大到8英寸的圓片 和最大到6英寸x6英寸的方片。新設(shè)計的三片式可拆卸工藝腔體可實現(xiàn)良好的工藝均勻 性和重復(fù)性,設(shè)備也可用于清洗和旋干工藝。 UNIXX S 20 D的落地式柜體經(jīng)專門設(shè)計,方便操作和維修。它是一款手動顯影機,適 用于實驗室開展科學(xué)研究和技術(shù)開發(fā)。設(shè)備具有多選項(例如可編程流體輸送臂)并且 可以升級成自動化的系統(tǒng)
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