當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 等離子清洗機(jī) > HPC小型射頻等離子清洗機(jī) > PDC-FMG-2Harrick 氣體流量控制器
簡要描述:Harrick 氣體流量控制器主要應(yīng)用于處理氣體的精密控制、在等離子清洗過程中氣體流混合和真空艙內(nèi)壓力監(jiān)控。
相關(guān)文章
Related Articles詳細(xì)介紹
Harrick 氣體流量控制器技術(shù)參數(shù):
緊湊的臺式設(shè)備、符合CE 安全標(biāo)準(zhǔn)
兩個標(biāo)準(zhǔn)的氣體流量計(0.104 scfh & 0.22 scfh)
真空壓力傳感器..............................熱電偶真空計
壓力表.............................................數(shù)字壓力
壓力范圍..........................................1 -1999 毫托
氣體通路..........................................可同時通2路氣體
流量計1 ..........................................參考刻度值65mm(4~49 mL/min)
49 毫升/分鐘的流量 大氣(0 PSIG)*
流量計2 ...........................................參考刻度值65mm(10~104 mL/min)
104 毫升/分鐘的流量 大氣(0 PSIG)*
流量計精度....................................... 滿刻度的± 2%
流量計工作壓力/溫度................ 200 PSIG / 250℉(121℃)
不銹鋼氣源輸入接口......................... dia.6mm
不銹鋼氣源輸出接口......................... dia.6mm
常用工作氣體:空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)饣蚧旌蠚怏w等
產(chǎn)品咨詢
歡迎您關(guān)注我們的微信公眾號了解更多信息