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簡要描述:Desktop R2P NanoImprinter 裝置適用于小型納米壓印光刻工作。該設(shè)備非常適用于快速原型制作、測試和結(jié)構(gòu)特性表征,包括使用光固化樹脂和壓印材料。典型應(yīng)用范圍從壓印、芯片實驗室到衍射光學(xué)元件,以及其他納米壓印結(jié)構(gòu)。Desktop R2P NanoImprinter 在其受保護的環(huán)境中工作。
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與當今仍主導(dǎo)行業(yè)的傳統(tǒng)納米壓印工具相比,桌面 R2P NanoImprinter 由 Stensborg 的現(xiàn)場工程師開發(fā),是一款小型且具有成本競爭力的卷對板壓印機。這種智能技術(shù)是同類產(chǎn)品中的;納米壓印光刻桌面和卷對板 (R2P) 設(shè)備。
我們的卷對板 NIL 工藝使用獲得的壓印工藝以及可調(diào)節(jié)的壓印力,以最大限度地減少材料收縮,同時減少氣泡問題。這種壓印工藝降低了對基材一致性的要求,從而降低了成本并提高了產(chǎn)量。
Stensborg 的工程師在設(shè)計這款 R2P NanoImprinter 時考慮到了節(jié)約成本,同時旨在打造一臺具有高質(zhì)量輸出的機器;通過對每小時多達 60 個板/晶圓進行定期性能審查,質(zhì)量不會在大量使用中受到影響。
基材厚度:最大 11 毫米
復(fù)制速度:每小時60次手動復(fù)制(速度可達5m/min)
速度范圍 0.1 至 5 m/min。
光固化引擎:LongLife 395nm LED
最大功率:在 5m/min 時高達 120mJ/cm2。
設(shè)備尺寸和重量:670x380x320 mm (LxWxH), 26kg
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