精密金剛石晶圓劃片機(jī)

一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

  MYCRO原裝進(jìn)MR 200手動(dòng)晶圓劃片機(jī)可準(zhǔn)確切割結(jié)構(gòu)化硅晶片，是理想工具-半導(dǎo)體技術(shù)的制造。MR 200的設(shè)置和設(shè)備可為定義的結(jié)構(gòu)化硅晶片切割提供高精度劃線。MR 200是*的工具，特別是對(duì)于半導(dǎo)體技術(shù)中的REM制造。 MR200還適用于少量芯片的單芯片化，例如在實(shí)驗(yàn)室中使用。

技術(shù)參數(shù)

●擠壓型材的基本框架

●尺寸（BXTxH）；約400x 800x600mm

●重量應(yīng)用程序：20公斤

●電磁劃線發(fā)電（查詢：氣動(dòng)劃線發(fā)電，劃線力更高）

●通過腳踏開關(guān)控制刻劃鉆石（下降，抬起）

●可調(diào)節(jié)的劃刻力（10g..120g.其他可詢價(jià)）

●劃線槽寬度ca. 5um ...10um（取決于劃線能力和材料）

●下降速度可調(diào)

●劃線鉆石高度可調(diào)

●劃線金剛石工作角度可調(diào)

●真空抽出劃線顆粒

●高質(zhì)量的變焦顯微鏡，可無級(jí)調(diào)節(jié)放大倍率，范圍為8x..40x

●十字形目鏡，可根據(jù)邊緣，結(jié)構(gòu)和參考標(biāo)記等準(zhǔn)確調(diào)整劃線。

●在10倍放大倍率下，光學(xué)分辨率更好達(dá)到10pm *

●涂有特氟龍涂層的真空晶片卡盤，安裝在x / y平臺(tái)上，直徑為200 mm（詢問時(shí)為100 mm）

●通過千分尺螺絲對(duì)水夾頭進(jìn)行角度微調(diào)（10 um分辨率= 0,006）

●卡盤準(zhǔn)確旋轉(zhuǎn)90 *，無需關(guān)閉真空

●可調(diào)節(jié)擋塊，使卡盤旋轉(zhuǎn)90 *

●手動(dòng)X / Y位移臺(tái)，行程200x 200mm，用于劃刻運(yùn)動(dòng)和粗略定位

●25毫米測(cè)微螺絲，可橫向于劃線方向準(zhǔn)確定位

●10 mm微米螺絲，可在劃線方向上準(zhǔn)確定位

●帶亮度控制和電源的LED環(huán)形燈

●小標(biāo)本尺寸：（10x 10）mm

●晶圓厚度：硅晶圓的所有標(biāo)準(zhǔn)厚度

●材料：硅，砷化鎵（GaAs）（其他詢價(jià)材料）。視頻系統(tǒng)（還帶有圖像處理軟件）作為附件提供光學(xué)高質(zhì)量的200mm光學(xué)元件可將放大倍率從8倍無級(jí)調(diào)節(jié)到40倍。 顯微鏡還提供許多附加功能附件。

三、產(chǎn)品特點(diǎn)：

刻劃準(zhǔn)確，操作簡(jiǎn)便

將基板放在卡盤上后，將顯微鏡聚焦在晶圓表面上。通過手動(dòng)將工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)到x和y方向，可以將劃線切成標(biāo)本上的參考標(biāo)記或結(jié)構(gòu)。高質(zhì)量zoom顯微鏡可在樣品的概覽和詳細(xì)檢查之間快速切換。使用x / y工作臺(tái)的微調(diào)，可以非常準(zhǔn)確地定位晶圓。劃線鉆石的觸地點(diǎn)可以調(diào)節(jié)。目鏡的發(fā)叉或監(jiān)視器上的發(fā)叉定義了劃線菱形的觸地點(diǎn)。劃線菱形由腳踏開關(guān)（升高/降低）控制。以便可以用雙手控制劃線運(yùn)動(dòng)。如果定義了劃線，則通過腳踏開關(guān)降低鉆石。為了劃片，手動(dòng)移動(dòng)整個(gè)卡盤。

可選附件

1.數(shù)字量規(guī)100 mm或200 mm該量規(guī)可將晶圓臺(tái)垂直于劃線方向進(jìn)行高精度定位。目的之一是對(duì)準(zhǔn)確的網(wǎng)格進(jìn)行劃線。

2.適應(yīng)攝像機(jī)的升級(jí)套件適應(yīng)CCD攝像機(jī)的升級(jí)套件由相應(yīng)的顯微鏡組組成。相機(jī)本身以及帶有圖像處理功能的監(jiān)視器或PC也是必需的。客戶可以為此選擇自己的解決方案，或者將OEG產(chǎn)品用于帶有軟件的相機(jī)和PC。

3.彩色視頻系統(tǒng)此選項(xiàng)包括一個(gè)彩色相機(jī)1.3 MPixel分辨率，一臺(tái)多合一計(jì)算機(jī)和一個(gè)圖像處理軟件。該軟件可以在計(jì)算機(jī)屏幕上顯示攝像機(jī)圖像。視頻圖像可以保存。圖片顯示了光學(xué)元件的不同放大倍率，它們?cè)谀跨R中分別顯示為8x.16x.32x和40x。

4.線寬測(cè)量此擴(kuò)展的圖像處理軟件可實(shí)現(xiàn)亞像素分辨率的高精度線寬測(cè)量