MicroXact高精度半自動(dòng)化探針臺(tái)

SPS 2600-HP，SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系統(tǒng)是MicroXact的半自動(dòng)探針臺(tái)，設(shè)計(jì)靈活，易于使用，可用于高效設(shè)備表征，晶圓級(jí)可靠性測(cè)試和故障分析。這些半自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于支持多200mm晶圓的手動(dòng)和半自動(dòng)探測(cè)。
 

高分辨率復(fù)合顯微鏡。

偏光顯微鏡。

廣泛的相機(jī)選擇。

射頻可偏置卡盤和屏蔽罩。

拋光鍍金可調(diào)節(jié)真空吸盤。

超*真空泵。

溫度范圍為-65°C至> 400°C的熱卡盤（也可以使用更高的溫度）。

適用于超聲波和激光切割的系統(tǒng)。

可選擇XY平移臺(tái)和超堅(jiān)固的焊接鋼橋，用于高分辨率顯微鏡。

高分辨率復(fù)合顯微鏡。

偏光顯微鏡。

廣泛的相機(jī)選擇。

射頻可偏置卡盤和屏蔽罩。

拋光鍍金可調(diào)節(jié)真空吸盤。

超*真空泵。

溫度范圍為-65°C至> 400°C的熱卡盤（也可以使用更高的溫度）。

適用于超聲波和激光切割的系統(tǒng)。

可選擇XY平移臺(tái)和超堅(jiān)固的焊接鋼橋，用于高分辨率顯微鏡。