MicroXact標(biāo)準(zhǔn)半自動(dòng)探針臺(tái)

XY平臺(tái)和壓板的精密電機(jī)控制。還可提供額外的預(yù)載滑塊，以便于裝載和卸載晶圓或樣品。

光滑的粉末涂層鋼板可容納多達(dá)10個(gè)磁性或真空定位器。

通過(guò)位于站兩側(cè)的終端隔離饋通，可以方便地連接微定位器，可以為BNC，Triax或Banana插頭連接進(jìn)行定制。

標(biāo)準(zhǔn)吊桿安裝組件，用于顯微鏡的全范圍XYZ定位。

可用的高分辨率微定位器，帶80TPI螺釘，用于探針的μm級(jí)定位。

可用的RF選項(xiàng)包括可定制的RF探頭，RF偏置卡盤和屏蔽罩。

高分辨率復(fù)合顯微鏡。

偏光顯微鏡。

廣泛的相機(jī)選擇。

射頻可偏置卡盤和屏蔽罩。

拋光鍍金可調(diào)節(jié)真空吸盤。

超*真空泵。

標(biāo)準(zhǔn)半自動(dòng)化系統(tǒng)

電動(dòng)XY夾頭，SPS-2600中的電動(dòng)壓板，SPS 2800中卡盤的電動(dòng)Z軸運(yùn)動(dòng)，標(biāo)準(zhǔn)配置。Motorized theta是一種選擇。

基于步進(jìn)電機(jī)，無(wú)編碼器。

成本競(jìng)爭(zhēng)力

強(qiáng)烈推薦用于需要低于0°C的測(cè)試或屏蔽的應(yīng)用

可用選項(xiàng)：加熱或冷卻卡盤，變焦鏡或復(fù)合顯微鏡，各種屏蔽，用于直流和射頻測(cè)量的卡盤選擇等等