微米級光學(xué)薄膜測厚儀

FR-uProbe是涂層表征應(yīng)用的解決方案，要求光斑尺寸小*小微米，例如微圖案表面，具有不規(guī)則表面的樣品，其表現(xiàn)出高水平的散射光和許多其它。使用FR-uProbe，在UV / Vis / NIR上的局部薄膜厚度，光學(xué)常數(shù)，反射率，透射率和吸光度測量只需點擊即可。

FR-uProbe簡單地連接到大多數(shù)商用光學(xué)顯微鏡的C接口適配器，并提供：

o實時光譜測量

o薄膜厚度，光學(xué)性能，非均勻性測量

o使用集成的USB連接和高質(zhì)量彩色相機進行成像

o顯微鏡本身的性能不受影響

工作原理

白光反射光譜（WLRS）測量在一定波長范圍內(nèi)從薄膜或多層疊堆反射的光量，入射光垂直于（垂直于）樣品表面。

通過來自界面的干涉產(chǎn)生的測量的反射光譜用于確定自支撐和支撐（在透明或部分/全反射基板上）薄膜堆疊的厚度，光學(xué)常數(shù)（n和k）等。

應(yīng)用

o大學(xué)和研究實驗室

o半導(dǎo)體（氧化物，氮化物，硅，抗蝕劑等）

o MEMS器件（光刻膠，硅膜等）

o LED

o數(shù)據(jù)存儲

o陽極氧化

o彎曲基板上的硬/軟涂層

o聚合物涂料，粘合劑等

o生物醫(yī)學(xué)（聚對二甲苯，氣球壁厚等）

特征

o   單擊分析（無需初始猜測）

o   動態(tài)測量

o   集成USB攝像頭

o   保存視頻進行演示

o    350+不相同的材料

o    3年免費軟件更新

o   在Windows 7/8/10上運行