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硅片清洗機日常工作中,有多少細節(jié)是需要我們重視的

更新時間:2020-10-23      點擊次數(shù):1099
  硅片清洗機的特點:
  1.概述主要用于對表面有油污的單/多晶硅片進行超聲波振蕩清洗.
  2.組成設(shè)備基本由六-十個清洗槽構(gòu)成。
  3.控制設(shè)備操作方便,清洗工作過程帶時間控制.
  4.裝片每槽可裝載多個花籃,晶片放在清洗花籃內(nèi)(25片/籃)。
  5.超聲波振蕩清洗過程水溫可根據(jù)需要設(shè)置加熱管,清洗功率與超聲頻率可根據(jù)需要調(diào)整.
  6.槽體材料可選用PTFE、PVDF、PP和不銹鋼等.
  7.PLC控制,觸摸屏操作面板.
  8.多種工作模式:全自動、半自動、手動等.
  9.實時狀態(tài)顯示及故障報警
  硅片清洗機的使用注意事項
  1.切記在空槽的狀況下不能開啟清洗器,以免損壞機器。
  2.放/換清洗液時必須關(guān)斷電源。
  3.除特殊定制機抗腐蝕機型外,禁止使用腐蝕性強和易燃的溶液作清洗液,以免腐蝕容器和發(fā)生危險。
  4.清洗量以容積的1/2到2/3為佳。
  5.機殼必須接地良好、可靠。
  6.在正常情況下,清洗器連續(xù)工作一段時間后會自動升溫,環(huán)境工作溫度不得高于45℃。
  7.嚴禁將沸水直接注入槽內(nèi),以防因驟冷驟熱導(dǎo)致?lián)Q能器脫落。(水溫不得超過40℃)
  8.保證機器干燥的使用環(huán)境。不能開啟清洗器,以免損壞機器。
  9.超聲波清洗機在工作一個小時或3個小時,讓機器休息半個小時或一個小時。
  10.嚴禁導(dǎo)電液體(如水)進入通風(fēng)口,否則會對超聲波清洗機的線路系統(tǒng)造成嚴重損害。
  11.注意保持超聲波清洗機的清潔,不使用時關(guān)掉電源。(可用干抹布將機體擦干凈)
  12.避免對超聲波清洗機的碰撞或劇烈震動、遠離熱源
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