集結(jié)號：NXQ4006光刻機的操作步驟及工作過程

　　1.汞燈位置調(diào)節(jié)

　　汞燈位置調(diào)節(jié)在換燈后或燈位置變動時會改變照明的均勻性和照明的光強，這時調(diào)節(jié)三維燈座臺，使汞燈球體位于橢球鏡的焦點上，這時照明強度大，均勻性好。

　　2.NXQ4006光刻機的開機準(zhǔn)備

　?。?）.供給機器的電源配電插座應(yīng)有220伏的供電能力，在總電源插頭插上后，機柜已通電。

　?。?）.開啟空氣壓縮機和真空泵，要求：供氣壓力大于0.4Mpa（表壓）,真空度高于-0.06Mpa。

　　3．開機正常工作時，先按“汞燈電源”紅色按鈕，啟輝汞燈，如其指示燈亮，但汞燈未點燃（也屬正常），可再按“觸發(fā)”按鈕，將汞燈點燃。汞燈點燃30分鐘后才能穩(wěn)定。按下“控制電源”紅色按鈕，控制電源打開，幾秒鐘后面板上的“復(fù)位”鍵指示燈亮，曝光時間顯示默認(rèn)值“0060.0”，表明控制系統(tǒng)工作正常。

　　4．上片將樣片放到承片臺上，打開“小硅片”氣動開關(guān)(對于4寸片，還需打開“大硅片”)氣動開關(guān)，樣片被吸緊，反時針旋轉(zhuǎn)曝光間隙調(diào)節(jié)手輪，使樣片低于掩模面；將掩模放到掩模吸盤上，按“掩模”按鈕（指示燈亮），掩模被吸緊。

　　5．調(diào)平按“氣浮”按鈕（指示燈亮），球氣浮吹氣，順時針旋曝光間隙調(diào)節(jié)手輪直至樣片與掩模貼緊，再按“氣浮”按鈕（指示燈滅），球氣浮被鎖緊，樣片被調(diào)平，在球氣浮被鎖緊的過程中掩模和樣片間會分離一定的間隙，可直接進行對準(zhǔn)。

　　6．曝光時間設(shè)定按下“設(shè)定”鍵，指示燈亮，同時曝光時間（或劑量）顯示的百位數(shù)字閃爍，可按“+”“-”鍵對曝光時間的位數(shù)調(diào)整，調(diào)整好后，再次、按設(shè)定（SET）鍵可進行下一位數(shù)字調(diào)整，當(dāng)調(diào)整完后一位時，再按“設(shè)定”鍵，退出“時間—劑量”設(shè)定，按“時間”或“劑量”鍵，可進行曝光操作（或定劑量曝光）。

　　曝光過程中，顯示窗顯示曝光狀態(tài)的。

　　7．對準(zhǔn)調(diào)節(jié)

　　7.1顯微鏡對準(zhǔn)一般來說調(diào)平完成被鎖緊后（關(guān)“氣浮”，掩模和樣片間存在一定的）間隙，可直接進行對準(zhǔn)，但如果調(diào)平頂緊的力過大或過小，則調(diào)平完成被鎖緊后，對準(zhǔn)間隙可能過大或過小，這種情況下，可旋轉(zhuǎn)調(diào)焦手輪，調(diào)節(jié)出合適的對準(zhǔn)間隙—即保證掩模和樣片的對準(zhǔn)標(biāo)記都能成清晰像，且作對準(zhǔn)運動時掩模和樣片不摩擦（掩模和樣片不一起運動）。

　　對準(zhǔn)臺分三部分，下層為整體運動臺（樣片和掩模一起作整體運動，能保證掩模和樣片對準(zhǔn)標(biāo)記進入到顯微鏡的視場內(nèi)，也可用于增大曝光面積）；中心為轉(zhuǎn)動，調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)手輪可使承片臺相對掩模旋轉(zhuǎn)；上層為相對運動臺，旋轉(zhuǎn)其手輪，可使掩模相對于樣片作X、Y對準(zhǔn)運動。對準(zhǔn)顯微鏡的使用見“顯微鏡使用說明書”。

　　7.2CCD對準(zhǔn)調(diào)平完成后首先分離出合適的對準(zhǔn)間隙。

　　對于薄膠：其操作基本和顯微鏡對準(zhǔn)一樣，所不同的是其觀察是通過計算機監(jiān)視器。

　　對于厚膠：首先移動整體運動臺，掩模對準(zhǔn)標(biāo)記進入到CCD對準(zhǔn)系統(tǒng)的測量視場內(nèi)（好兩個標(biāo)記基本都位于CCD視場的中心），通過計算機采集掩模對準(zhǔn)標(biāo)記的像并保存。調(diào)焦，使樣片對準(zhǔn)標(biāo)記在計算機監(jiān)視器上成清晰像，調(diào)節(jié)對準(zhǔn)手輪（作掩模和樣片相對運動X、Y、θ），使樣片對準(zhǔn)標(biāo)記與保存的掩模對準(zhǔn)標(biāo)記的像相一致。

　　8．關(guān)機關(guān)機的順序和開機相反，先關(guān)掉控制系統(tǒng)電源，再關(guān)掉汞燈電源。

　　9．操作警告

　　不要在控制系統(tǒng)工作的情況下啟輝汞燈，以免損壞電氣系統(tǒng)。

　　操作過程中出現(xiàn)控制紊亂或死機，按面板上“復(fù)位”鍵，幾秒鐘后，系統(tǒng)重新復(fù)位。

　　汞燈要及時更換，以免出現(xiàn)其他事故。汞燈的壽命一般為200-300小時。一般說來，如汞燈位置處于好的狀態(tài)，可變光欄又開到z大位置，而照明面的光強（365nm）小于7mW/cm2，則必須更換汞燈。

　　以上便是今天關(guān)于集結(jié)號：NXQ4006光刻機的操作步驟及工作過程的全部分享了，希望對大家今后使用本設(shè)備能有幫助。