NXQ8000系列掩膜曝光機可在多種領域中應用
NXQ8000系列掩膜曝光機全面滿足科學研究,工藝級生產(chǎn)等多領域的應用。*采用非接觸式100%標定系統(tǒng),對晶圓和掩膜沒有傷害,大大提高間隙精度
非接觸式掩膜對準機maskaligner適合各種電子元器件,包括半導體,LED,LD,MEMS,傳感器等。
NXQ8000系列掩膜曝光機主要是用于光刻膠曝光。光刻膠也稱為光致抗蝕劑,是一種光敏材料,它受到光照后特性會發(fā)生改變。光刻膠主要用來將光刻掩膜版上的圖形轉移到晶圓片上。
光刻膠有正膠和負膠之分。正膠經(jīng)過曝光后,受到光照的部分變得容易溶解,經(jīng)過顯影后被溶解,只留下未受光照的部分形成圖形而負膠卻恰恰相反,經(jīng)過曝光后,受到光照的部分會變得不易溶解,經(jīng)過顯影后,留下光照部分形成圖形。負膠在光刻工藝上應用早,其工藝成本低、產(chǎn)量高,但由于它吸收顯影液后會膨脹,導致其分辨率(即光刻工藝中所能開誠小圖形》不如正膠,因此對于亞微米甚至更小尺寸的加工技術,主要使用正膠作為光刻膠。
NXQ8000系列掩膜曝光機的清潔
所有石英燈管在封裝運輸前都會經(jīng)過精心的清潔步驟。如果小心處理,(例如:燈管主體沒有指紋),當打開包裝時即可使用。如果用雙手直接接觸燈管,則應用脫離子水或工業(yè)酒精稍稍浸濕紙巾,仔細擦拭燈管,再用干燥紙巾重新將燈管擦干。根據(jù)需要,還應定期清潔燈管及反射罩。尤其在當燈管表面沾有其它附著物時更應進行清潔。如果不能及時處理,將導致燈管過早失去透明性并會影響其工作效果。
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