NXQ4006光刻機在操作中應(yīng)該要注意這樣要點

　　

　　1、進(jìn)入機倉檢查或維修必須切斷電源，掛上警示牌并與中控。

　　2、檢修或檢查時必須使用36V以下照明。

　　

　　3、必須經(jīng)常監(jiān)視機器運轉(zhuǎn)情況，如聽任何不正常聲音，應(yīng)立即停機檢查，查明原因并處理完故障后，方可重新起動。

　　4、正常運轉(zhuǎn)中，應(yīng)特別注意電機和轉(zhuǎn)子的溫度變化，保證充足的油潤滑、水冷卻，超過規(guī)定值立即停機檢查。

　　5、運行時，不準(zhǔn)打開觀察孔，以防物料飛出傷人。

　　

　　6、每周應(yīng)檢查一次轉(zhuǎn)子卡箍螺栓的松緊情況。

　　7、每天開機前應(yīng)檢查襯板螺絲是否松動并緊固。