EDC-650顯影機(jī)開機(jī)啟動(dòng)適用工藝

　　EDC-650顯影機(jī)開機(jī)啟動(dòng)適用工藝
　　
　　EDC-650顯影機(jī)是一種既可用于精密勻膠操作，又可用于半導(dǎo)體顯影和清洗的臺(tái)面式設(shè)備，它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬美元設(shè)備的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。
　　
　　EDC-650顯影機(jī)要注意的問題如下：
　　
　?、匍_機(jī)前就應(yīng)該啟動(dòng)顯影機(jī)給顯影液預(yù)熱，待顯影液溫度達(dá)到設(shè)定的溫度值再開始顯影。
　　
　?、诙ㄆ谇逑达@影槽和顯影槽中的各種膠輥，以避免印版帶臟、刮傷等現(xiàn)象的出現(xiàn)。
　　
　?、矍逑赐磕z的膠輥，以免膠輥干結(jié)從而對(duì)驅(qū)動(dòng)電機(jī)造成損害。
　　
　?、茏⒁怙@影液的疲勞程度,及時(shí)地更換顯影液。
　　
　　EDC-650顯影機(jī)適用工藝（包括但不限于下述濕法制程）
　　
　　光刻膠顯影（KrF/ArF）
　　
　　SU8厚膠顯影
　　
　　顯影后清洗
　　
　　PostCMP清洗
　　
　　光罩去膠清洗
　　
　　光刻膠去除
　　
　　金屬Lift-off處理
　　
　　刻蝕微刻蝕處理